TK910擴(kuò)散硅壓力變送器
★ 工作原理
TK910系列擴(kuò)散硅壓力傳感器系全部采用芯片，經(jīng)過精心的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，信號(hào)處理和組裝，并按照國家標(biāo)準(zhǔn)和企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，進(jìn)行測(cè)試而生產(chǎn)出來的新一代測(cè)量元件。基本原理是利用半導(dǎo)體的壓阻效應(yīng)和微機(jī)械加工技術(shù)，在單晶硅片的特定晶向上，用光刻、擴(kuò)散等半導(dǎo)體工藝制做一惠斯登電橋，形成敏感膜片，當(dāng)受到外力作用時(shí)產(chǎn)生微應(yīng)變，電阻率發(fā)生變化，使橋臂電阻發(fā)生變化（一對(duì)變大一對(duì)變?。┰诩?lì)電壓信號(hào)輸出，經(jīng)過計(jì)算機(jī)溫度補(bǔ)償、激光調(diào)阻、信號(hào)放大等處理手段和嚴(yán)格的裝配檢測(cè)、標(biāo)定等工藝，生產(chǎn)出具有標(biāo)準(zhǔn)輸出信號(hào)的壓力變送器。
★ 特點(diǎn)
※ 輸出穩(wěn)定靈敏度高
一般應(yīng)變式傳感器輸出僅為10mv左右，而擴(kuò)散硅傳感器滿量程輸出為100mv左右，干擾及噪聲等因素影響相對(duì)較小，放大電路成本也相應(yīng)降低，分辨率大大提高。零壓力附近無死區(qū)。
※ 精度高，重復(fù)性好
擴(kuò)散硅壓阻式壓力傳感器實(shí)現(xiàn)了壓力受感，壓力傳遞力一電轉(zhuǎn)換由同一元件上實(shí)現(xiàn)，無中間轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)，無壓力滯后，無機(jī)械位移變形，保證了極小的重復(fù)性和遲滯誤差，和良好的線性度，無蠕變、穩(wěn)定、可靠、壽命長。
※ 良好的溫度特性
由于采用了激光調(diào)阻，計(jì)算機(jī)補(bǔ)償?shù)认冗M(jìn)技術(shù)和巧妙控制擴(kuò)散濃度，實(shí)現(xiàn)滿量程溫度漂移（靈敏度溫度系數(shù)）自補(bǔ)償?？朔税雽?dǎo)體晶片本身溫度系數(shù)大的缺陷，使變送器的零位和滿度溫漂達(dá)到了較高的水準(zhǔn)，拓寬了使用溫區(qū)。
※ 適合于危險(xiǎn)易爆的領(lǐng)域和場(chǎng)所應(yīng)用
擴(kuò)散硅壓力傳感器，變送器具有低電流，低電壓，低功耗的特點(diǎn)，屬于本質(zhì)安全防爆型產(chǎn)品，并已取得了國家安全防爆機(jī)構(gòu)頒發(fā)的防爆證書。
※ 高可靠性與抗干擾性能
產(chǎn)品由于采用了不銹鋼材質(zhì)與特殊防護(hù)結(jié)構(gòu)，和放大電路的防雷擊、抗干擾、抗過壓、過流等一系列保護(hù)手段，提高了可靠的密封防腐和抗惡劣工作環(huán)境的能力，完全適合一般工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量和控制的需要。